Информация об авторе
Stepanov, A. L.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 7 (2024) | Статьи | Ионная имплантация: нанопористый германий |
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
модификация поверхности
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
численное моделирование
Информация
×
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
модификация поверхности
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
численное моделирование
Информация